| 電子時代的真爭核心技術:光刻機 |
| 送交者: 香椿樹1 2016年03月13日08:27:21 於 [軍事天地] 發送悄悄話 |
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電子時代的真爭核心技術:光刻機
當然是從中國的角度說哈, 被封鎖的經濟體就是短板經濟體, 光刻機的封鎖導致了中國芯片製造業根本不敢加大投資不敢按最先技術設計,雖然用你做超級打工仔, 一旦你某一領域表現冒尖, 制裁禁運必然接踵而來。 華為被制裁多年,超算被芯片禁運, 最近手機中興也被制裁, 處於這樣的市場環境對從業者的信心的打擊是巨大的。 中國達不分技術研發不應當指望賺錢,占領國際市場, 技術跟蹤研發相當與跟風吃屁, 賠錢挨罵。 資本主義國家做不了, 誰幹這些不能盈利的營生。 但是, 對中國來說必須做這些賠錢的研究, 不論多少人鼓譟買來更便宜, 騙國家錢研究用技術, 國家都要堅定不移, 毫不吝嗇地投入巨資。 不論多少次技術研發在市場的邊緣被解除禁運衝垮, 國家似乎浪費了多少多少銀子, 國家都應該堅定不移地繼續投入。 因為對中國來說不能用利潤來衡量成供, 而是應該用影子成本來衡量科學技術的投入產出。 —————————————— 目前世界主流的光刻機還是深紫外侵入式光刻機,在這個光刻機上面 世界占有率最高的是荷蘭的一家公司 ,目前荷蘭的這家公司可以把這個技術的光刻機做到14納米,另外是日本的可以做到18納米。但是因為深紫外技術固有的缺點 ,導致不能繼續的向更加精度的方向發展。如果想做到10納米一下 那麼就要用到級紫外技術的光刻機。在這個極紫外技術的光刻機上面的研發荷蘭那個公司領先,日本尼康明顯的落後。 下面分別說一下深紫外侵入式光刻機的主要核心技術: 深紫外光刻機用到的光源是深紫外光線,在這個光源上面的研發最牛逼的是德國的亞深,日本尼康通過收購德國的這個企業獲得了這個光源的技術,另外一個技術就是物鏡,深紫外光線要想達到22納米的水平 那麼物鏡的數值口徑要達到1.35以上。目前德國的光學公司可以達到,另外日本的尼康通過購買德國的技術也可以達到。達到這個口徑很難。因為這要加工亞納米精度的大口徑的鏡片,用到的最大口徑的鏡片達到了400毫米,那麼在這方面中國的技術如何呢? 進過我的查找 把中國在深紫外光刻機上面的技術水平進行了整理 首先看光源,在深紫外光源上,荷蘭的公司和日本尼康都是用的德國亞深公司的光源,這個深紫外光源是離子束的,,,中國的研發的是世界唯一的固態深紫外光源,這個要比離子束的高一個水平,主要固態深紫外光源的獨特優點是,比較小 這樣設計光刻機比較小巧而且設計的控制設備更加的簡單 這樣成本更加的低,,還有頻帶寬 這樣可以用一台光刻機直接做到100納米到20納米的幾乎所有的節點。這個技術是中國獨有的,小鬼子沒有。 另外看物鏡,你要想讓深紫外技術的光刻機達到22納米甚至目前的14納米的頂級極限水平那麼主要改進的就是物鏡,物鏡的最核心的部件當然就是鏡片了,那麼中國的物鏡的鏡片如何呢??22納米水平光刻機用的1.35口徑物鏡,要用到400毫米的亞納米精度的鏡片。這個荷蘭日本都是用的德國的技術,主要是用磁流變設備和離子束設備輔助手工加工的,看好了 可是手工哦!!產量很低,加工很慢,成本很高。 而中國發明了全自動的磁流體和離子束機床,可以實現鏡片的全自動高速加工,!!而且可以把亞納米的鏡片最大直徑加工到2米!!!這個兩個技術是小日子絕對不會有滴。 另外就是中國的物鏡的檢測設備,精度達到了0.1納米,物鏡組裝台也設計完成, 那麼中國自己的深紫外光刻機最近就會出了,最新出的應該是65納米和45納米的產業化光刻機,隨後出32納米和22納米的,最後出14納米的。。。這類機床都是一個技術水準,主要進過該井物鏡達到更高的製程。 因為中國即將出的這類光刻機用到了中國獨有的固態深紫外激光器光源和亞納米物鏡自動加工機床,導致中國的光刻機成本有很大的優勢,估計可以便宜一半。 更重要的是深紫外固態激光器獨特的優勢,導致中國的光刻機一台可以覆蓋200納米到32納米甚至到15納米的所有節點,還有由於是獨特的世界上唯一實現8倍頻的固態深紫外激光器,那麼意味着這個光刻機的產率很高。也就是同樣的時間中國的光刻機可以生產更多的芯片,還有這個固態激光器小巧帶來的設計簡化還有本事的可靠性導致中國光刻機的壽命更長 成本更低 可靠性更好 產率更高 價格更低。這些特點會使中國的光刻機快速的占領14納米以上的所有光刻機市場。 |
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