| 电子时代的真争核心技术:光刻机 |
| 送交者: 香椿树1 2016年03月13日08:27:21 于 [军事天地] 发送悄悄话 |
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电子时代的真争核心技术:光刻机
当然是从中国的角度说哈, 被封锁的经济体就是短板经济体, 光刻机的封锁导致了中国芯片制造业根本不敢加大投资不敢按最先技术设计,虽然用你做超级打工仔, 一旦你某一领域表现冒尖, 制裁禁运必然接踵而来。 华为被制裁多年,超算被芯片禁运, 最近手机中兴也被制裁, 处于这样的市场环境对从业者的信心的打击是巨大的。 中国达不分技术研发不应当指望赚钱,占领国际市场, 技术跟踪研发相当与跟风吃屁, 赔钱挨骂。 资本主义国家做不了, 谁干这些不能盈利的营生。 但是, 对中国来说必须做这些赔钱的研究, 不论多少人鼓噪买来更便宜, 骗国家钱研究用技术, 国家都要坚定不移, 毫不吝啬地投入巨资。 不论多少次技术研发在市场的边缘被解除禁运冲垮, 国家似乎浪费了多少多少银子, 国家都应该坚定不移地继续投入。 因为对中国来说不能用利润来衡量成供, 而是应该用影子成本来衡量科学技术的投入产出。 —————————————— 目前世界主流的光刻机还是深紫外侵入式光刻机,在这个光刻机上面 世界占有率最高的是荷兰的一家公司 ,目前荷兰的这家公司可以把这个技术的光刻机做到14纳米,另外是日本的可以做到18纳米。但是因为深紫外技术固有的缺点 ,导致不能继续的向更加精度的方向发展。如果想做到10纳米一下 那么就要用到级紫外技术的光刻机。在这个极紫外技术的光刻机上面的研发荷兰那个公司领先,日本尼康明显的落后。 下面分别说一下深紫外侵入式光刻机的主要核心技术: 深紫外光刻机用到的光源是深紫外光线,在这个光源上面的研发最牛逼的是德国的亚深,日本尼康通过收购德国的这个企业获得了这个光源的技术,另外一个技术就是物镜,深紫外光线要想达到22纳米的水平 那么物镜的数值口径要达到1.35以上。目前德国的光学公司可以达到,另外日本的尼康通过购买德国的技术也可以达到。达到这个口径很难。因为这要加工亚纳米精度的大口径的镜片,用到的最大口径的镜片达到了400毫米,那么在这方面中国的技术如何呢? 进过我的查找 把中国在深紫外光刻机上面的技术水平进行了整理 首先看光源,在深紫外光源上,荷兰的公司和日本尼康都是用的德国亚深公司的光源,这个深紫外光源是离子束的,,,中国的研发的是世界唯一的固态深紫外光源,这个要比离子束的高一个水平,主要固态深紫外光源的独特优点是,比较小 这样设计光刻机比较小巧而且设计的控制设备更加的简单 这样成本更加的低,,还有频带宽 这样可以用一台光刻机直接做到100纳米到20纳米的几乎所有的节点。这个技术是中国独有的,小鬼子没有。 另外看物镜,你要想让深紫外技术的光刻机达到22纳米甚至目前的14纳米的顶级极限水平那么主要改进的就是物镜,物镜的最核心的部件当然就是镜片了,那么中国的物镜的镜片如何呢??22纳米水平光刻机用的1.35口径物镜,要用到400毫米的亚纳米精度的镜片。这个荷兰日本都是用的德国的技术,主要是用磁流变设备和离子束设备辅助手工加工的,看好了 可是手工哦!!产量很低,加工很慢,成本很高。 而中国发明了全自动的磁流体和离子束机床,可以实现镜片的全自动高速加工,!!而且可以把亚纳米的镜片最大直径加工到2米!!!这个两个技术是小日子绝对不会有滴。 另外就是中国的物镜的检测设备,精度达到了0.1纳米,物镜组装台也设计完成, 那么中国自己的深紫外光刻机最近就会出了,最新出的应该是65纳米和45纳米的产业化光刻机,随后出32纳米和22纳米的,最后出14纳米的。。。这类机床都是一个技术水准,主要进过该井物镜达到更高的制程。 因为中国即将出的这类光刻机用到了中国独有的固态深紫外激光器光源和亚纳米物镜自动加工机床,导致中国的光刻机成本有很大的优势,估计可以便宜一半。 更重要的是深紫外固态激光器独特的优势,导致中国的光刻机一台可以覆盖200纳米到32纳米甚至到15纳米的所有节点,还有由于是独特的世界上唯一实现8倍频的固态深紫外激光器,那么意味着这个光刻机的产率很高。也就是同样的时间中国的光刻机可以生产更多的芯片,还有这个固态激光器小巧带来的设计简化还有本事的可靠性导致中国光刻机的寿命更长 成本更低 可靠性更好 产率更高 价格更低。这些特点会使中国的光刻机快速的占领14纳米以上的所有光刻机市场。 |
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