上海微电子建造的28纳米光刻机,原计划2021年底建成投入市场,却因检验发现技术不过关,不得不推迟了两年,预计2023年底完成。
那么,到底是什么原因使得这台光刻机技术未过关呢?根据所得信息,答案就两个字:良率。且听下面解释。
在实验室条件下,人们可以大概率造出100%国产化28nm芯片的,但如果放在现实的生产中就有点悬了。良品率问题一直是制约国产半导体设备普及推广的重要因素。
一般而言,良品率保持在80%以上,生产企业才不亏本。但现实是:25%国产化的28nm制程生产线上,良品率就已经掉到了75%,而随着国产化率的提高,良品率也在不断下降,50%国产化的情况下,良品率就已经掉到60%了。【注】
如果在2019年以前,国产化低就低吧,反正光刻机零部件多能从国外购买到。现在不行了。美国西方已基本切断了光刻机零部件的供应链,中国光刻机生产厂家只得提高国产化。而这样一来,如何在高国产化的情况下,将光刻机良率提高到80%以上,是一个棘手的问题。
希望上海微电子能够解决高国产化与高良率的矛盾,顺利推出中国第一台商用28纳米光刻机。
【注】参考文献:https://36kr.com/p/2387804804348161