上海微電子建造的28納米光刻機,原計劃2021年底建成投入市場,卻因檢驗發現技術不過關,不得不推遲了兩年,預計2023年底完成。
那麼,到底是什麼原因使得這台光刻機技術未過關呢?根據所得信息,答案就兩個字:良率。且聽下面解釋。
在實驗室條件下,人們可以大概率造出100%國產化28nm芯片的,但如果放在現實的生產中就有點懸了。良品率問題一直是制約國產半導體設備普及推廣的重要因素。
一般而言,良品率保持在80%以上,生產企業才不虧本。但現實是:25%國產化的28nm製程生產線上,良品率就已經掉到了75%,而隨着國產化率的提高,良品率也在不斷下降,50%國產化的情況下,良品率就已經掉到60%了。【注】
如果在2019年以前,國產化低就低吧,反正光刻機零部件多能從國外購買到。現在不行了。美國西方已基本切斷了光刻機零部件的供應鏈,中國光刻機生產廠家只得提高國產化。而這樣一來,如何在高國產化的情況下,將光刻機良率提高到80%以上,是一個棘手的問題。
希望上海微電子能夠解決高國產化與高良率的矛盾,順利推出中國第一台商用28納米光刻機。
【注】參考文獻:https://36kr.com/p/2387804804348161