諸位看吾之論談，不要看了後面忘記前面

仝天
lll1717iii@yahoo.com

大陸準備在今年至少生產五台DUV光刻機，可是，諸位忘記了怎麼調試，調試光刻機，要選好地基，地基材質要均勻，最好選擇同一材質地基，不要一部分是土，一部分是石，一部分是鋼鐵等等，這會影響重力與光刻機射出來的激光平行問題。

大家都知道萬有引力，地球引力，土石和鋼鐵的萬有引力是不一樣的，引力稍微偏移，就導致激光偏移，正所謂差之毫厘謬以千里，畢竟光刻的激光光子是納米級別的而且光子又太輕了，如果引力不均衡就會將光刻的激光光子吸偏，影響光刻質量，至於在光刻廠房做出無塵空間，大家都知道，唯獨不知道萬有引力和地球引力能夠影響光子的平行問題，光刻激光稍微偏移就會影響光刻質量。

在物理試驗室做激光試驗，大家都是水平測試激光，以肉眼來觀察，似乎光線直了，因為水平發射激光，引力與激光呈"十"字形交叉，可是物理試驗使用的激光是比不上光刻的激光的，光刻所使用的激光波長更小更直。

激光在玻璃內會發熱，為何?，是因為同一束激光內，並不是所有激光束都是同一波長，光刻的激光波長仍然存在各種納米波，只要有波，就會與玻璃內的離子發生碰撞從而發熱，諸位為了解決這個問題，使用水或真空或添加物。

實際情況是，激光越正直，與玻璃內的離子碰撞次數越少，產生的熱能越低，諸位看看太空，光在太空的熱量要比地面更低，就是因為高空的空氣離子或分子沒有地面多或雜亂，光穿過太空抵達地面之前的太空並不熱，可是，越到地面，太陽光越熱，而地球在旋轉，太陽光與地球表面的引力不平行，從而碰撞交織而產生熱量，再者太陽光與地面的空氣發生碰撞亦產生熱能。

大家都知道，太陽光通過窗戶玻璃射入室內，室外，室內，和玻璃的溫度是不一樣的，而玻璃的溫度更高，為何?，因為太陽光射入玻璃，與玻璃材質粒子發生碰撞的次數更多，產生的熱量更多。

同樣是玻璃，若玻璃材質勻稱，光射入玻璃所產生的溫度偏低，若玻璃粗製濫造，光射入玻璃所產生的溫度偏高。

也就是說，光越正直，越平行，與其他離子碰撞所接觸的面積越小，不象激光內的大波，大面積與周圍的粒子發生碰撞，自然而然所產生的熱能越高，如果光波沒有波長，大家都朝同一個方向以相同速度運行，自然碰撞的幾率低，產生的熱量低。

DUV和EUV大家測試出來到光源波長，並不是純單一波長，在這些深紫外線和極紫外線內的波長有一定的波粒範圍，諸位測試出來的納米波長僅僅是一個近似值，正是因為如此，大家才想方設法地調整光刻激光光波所產生的溫度。