ASML的光刻机生意中,用于成熟制程芯片制造(14及14纳米以上)的DUV光刻机占营收的50%以上。一直以来,美国禁止中国购买先进制程(14纳米以下)的EUV光刻机。最近几年,美国更开始禁止ASML出售能够实施14纳米制程的DUV给中国,说不定下一步会禁售28纳米级的DUV。
在这种情况下,ASML有两个害怕,一个是短期的,一个是长远的。
中国在无法从海外获得14纳米级别的DUV的情况下,早就开始研发自产的28/14纳米光刻机。到现在,上海微电子已十分接近研制成功商用28纳米DUV,据说2023年底将完成第一台的生产。此光刻机一旦成功量产,加上国家政策扶持,中国将会大量削减对ASML关于同类光刻机的订单。到时哪怕美国解禁也没有用,中国政府为了扶持自主产业,肯定会设置进口条例(障碍),于是ASML将失去20%以上的DUV光刻机生意。
但这才刚开始。在量产28纳米光刻机后,中国将再接再厉,努力在几年内打造出商业14纳米光刻机。如果这一光刻机如期量产,ASML的DUV生意将会失去半壁江山。这是ASML的第一个害怕:害怕在不久的将来失去中国的DUV生意,也害怕中国以白菜价在世界倾销成熟制程光刻机。
事情到这并没有完。在攻克了14纳米光刻机后,在大幅度提升了精密制造与复杂系统集成水平的基础上,中国将更有信心研发出EUV与其他类型的先进制程的芯片制造机器。虽然这一过程会比较长(20-30年),但中国将在半导体产业中慢慢摆脱对西方技术的依赖,而西方高端光刻机生意很可能也永远失去中国这个潜在的顾客。这是ASML的第二个害怕:害怕中国在30年后不再购买其高端光刻机,并成为光刻机产业的强劲对手。