成都電視台《成視新聞》欄目組來到中科院光電所微細加工光學技術國家重點實驗室,對實驗室打造“大國重器”,同時帶動產業、惠及民生等科技創新驅動發展情況進行詳細報道。
光電所微細加工光學技術國家重點實驗室研製出來的SP光刻機是世界上第一台單次成像達到22納米的光刻機,結合多重曝光技術,可以用於製備10納米以下的信息器件。這不僅是世界上光學光刻的一次重大變革,也將加快推進工業4.0,實現中國製造2025的美好願景。
長期以來,我國的光刻技術落後於先進國家,成為我國工業現代化進程的一塊短板。2006年,科技部提出了光刻技術的中長期規劃,希望中科院的國家重點實驗室,能找到一條繞開國外技術壁壘,具有自主知識產權的光刻路徑。光電所SP光學光刻機就是繞開了傳統的193納米曝光的技術路線,利用長波長光源也可以得到一個突破衍射極限的分辨率的圖形,所以在成本上安全性方面上都會有一個很大的提升,是完全具有知識產權的原創性技術。
我以前了解過,光刻機是製造電腦CPU的母機,處於科技領域的最頂層,目前世界上先進光刻機基本被荷蘭的ASML公司壟斷,CPU芯片製程最先進的是14納米,不賣中國人,並且賣給中國公司的稍過時的光刻機也有條款不准用於製造像龍心這類自主研發的CPU芯片。美國、日本在這個領域都力不從心,成都太給力了。