5月21日上午,在上海浦東新區康橋工業園南區,由華虹集團旗下上海華力集成電路製造有限公司建設和營運的12英寸先進生產線建設項目(以下簡稱“華虹六廠”)實現首台工藝設備——光刻機搬入, 標誌着華虹六廠從基建階段進入工藝設備安裝調試階段。

自2016年12月30日開工以來,在參與華虹六廠建設的管理者有序組織協調下,廣大建設者克服連綿陰雨、持續高溫以及兩個春節長假放假等不利因素,合理安排,規範和錯時施工。經過16個半月的努力,目前主廠房已完成淨化裝修,相關配套機電設備準備就緒,具備了工藝設備搬入條件,較原計划進度提前1個半月。此次搬入的首台工藝設備為荷蘭阿斯麥公司的NXT 1980Di光刻機,是目前中國大陸集成電路生產線上最先進的浸沒式光刻機。
華力12英寸先進生產線建設項目是上海市最大的集成電路產業投資項目,總投資387億元人民幣,將建成月產能4萬片的12英寸集成電路芯片生產線,工藝覆蓋28-14納米技術節點。項目計劃於2022年底建成達產。項目主要從事邏輯芯片生產,重點服務國內設計企業先進芯片的製造,並滿足部分事關國家信息安全的重點芯片製造需求。項目已被列入國家《“十三五”集成電路產業重大生產力布局規劃》,是國家“910工程”的子項目之一,也是“十三五”期間上海市重大產業項目和上海市重大工程。
華力12英寸先進生產線建設項目實現首台工藝設備搬入,標誌着將康橋工業園南區打造為上海集成電路產業發展新基地、上海市落實《國家集成電路產業發展推進綱要》取得了階段性勝利,同時對上海建設先進製造業的產業集群高地、打響“上海製造”品牌有着重要意義。
未來五個月內,華虹六廠工藝設備將集中搬入,並完成安裝調試,年底前完成生產線串線並實現試流片。