今年的八、九月注定是中国历史上的激情岁月，因为华为和雅万高铁在海内外比翼双飞，让国人扬眉吐气。只是，虽然国人扬了眉吐了气，但静下心来想想，发现虽然美国觉得惊讶，但对华为的制裁却丝毫没有放松，为什么？因为中国的EUV光刻机还没有研制成功。只要中国没有EUV，华为设计得再好也造不出来。
华为的5G手机所需的麒麟9000S芯片是通过中芯国际DUV光刻机的N+2工艺制造出来的，DUV的N+2工艺工艺极其复杂，难度极大，几乎达到了DUV光刻机制作芯片的工艺极限，若是想在DUV范畴更进一步做N+3，真是难上加难，芯片良率很低，难以量产。现在华为期待的就是EUV光刻机，可以说，不仅仅华为关注着中国的EUV光刻机，全世界的华人都在关注。
我们知道，EUV光刻机的三大组件是EUV光源系统、高精度弧形反射镜系统和超高精度真空双工作台。其中光源系统已经由哈工大攻克并获得2022年的中国光学领域的最高奖。双工作台也问题不大，因为上海微电子已经宣布DUV光刻机已经试制成功，年底可以投入使用。说明双工作台基本上过关了。现在问题主要集中在反射镜系统。
中国的光学领域的龙头老大是中科院长春光学精密机械和物理研究所。于是我很在意长春光机所这两年在干什么。经过网上搜索可以看到：他们研究出TDICMOS图像传感器综合性能评测技术获得吉林省技术发明二等奖，这是EUV光刻机上图像成像的必备技术。还有，超高精度光刻机投影物镜系统波像差检测技术，也是吉林省技术发明二等奖。最重要的是EUV光刻光学技术，获得吉林省科技进步一等奖。再有，EUV光刻机多层膜光学元件表明污染防控及无损清洗关键技术，这获得吉林省科技进步二等奖。我搞不懂吉林省是怎么评的，其实这几个项目在我看来全部都应该是特等奖，现在应该重奖他们，尽可能的激发科研人员的钻研激情才对。
长春光机所的这些奖项说明了中国的EUV已经组装好了样机，但在试验过程中发现了不少问题，而每个问题得到解决，就得奖了。如此看来，中国的EUV光刻机正在朝着成功迈进。
如果说华为Mate 60 Pro 5G手机让美国人惊讶，那只是开始，大体上只是惊得牙床发麻；而当国产EUV光刻机亮相的时候，美国人和ASML那才叫惊掉了下巴。
