| DUV和EUV的幾何區別在於，U旋轉180度，D轉90度都變 |
| 送交者: 仝天 2024月06月16日02:43:53 於 [天下論壇] 發送悄悄話 |
| 回 答: 如何在DUV光刻現有的基礎上達到EUV光刻技術 由 仝天 於 2024-06-16 02:25:24 |
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DUV和EUV的幾何區別在於，U旋轉180度，D轉90度都變成蒙古包，E小寫e，e的上半部分就是一個轉90度的D，下半部分就是轉90度的C，所以，CHI如何過濾光譜P，就是將P上面上半部分的D過濾掉，只剩下P左邊的直波I或l，li即light, line，諸位說直播。 |
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