| DUV和EUV的几何区别在于，U旋转180度，D转90度都变 |
| 送交者: 仝天 2024月06月16日02:43:53 于 [天下论坛] 发送悄悄话 |
| 回 答: 如何在DUV光刻现有的基础上达到EUV光刻技术 由 仝天 于 2024-06-16 02:25:24 |
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DUV和EUV的几何区别在于，U旋转180度，D转90度都变成蒙古包，E小写e，e的上半部分就是一个转90度的D，下半部分就是转90度的C，所以，CHI如何过滤光谱P，就是将P上面上半部分的D过滤掉，只剩下P左边的直波I或l，li即light, line，诸位说直播。 |
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